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产品展示
多功能真空实验仪
型号:YQDH2010
货号:ZH5503
产
品
简
介
实验仪是一个真空实验平台,能够很直观反映真空获得的,过程。由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成,结构合理,运行,,,适合于对学生开展真空实验教学。
1、真空的获得与测量;
2、蒸发法薄膜制备;
主要,特点:
1 设备的真空反应室、油扩散泵、真空管路部件,透明;
2 电气控制有,%护,%止误操作对操作人员和设备造成的损伤;
3 管路采用不锈钢、真空橡胶管结合,阀门为电控双向截止阀,真空室内有烘烤除气设备;
4 一机多用的功能,针对高校开展综合性、设计性和开放性实验的要求,预留有大空间的真空室,在配置一些组件后,就能方便开设其他扩展实验项目。
主要,参数:
1、φ230mm×255mm硬质玻璃真空室;
2、采用机械泵、四,玻璃质油扩散泵两,真空系统,扩散泵油量125~140ml,带水冷;
3、真空度:开机60分钟后可达6×10-3Pa,,限真空度:9.6×10-4Pa;恢复真空时间<40分钟;
4、采用一对无氧铜电,蒸发电,,电,间距70mm,可选用钨丝或钼舟作蒸发源,蒸发电流调节范围:0~150A;
5、衬底可加热。衬底加热温度范围:室温~200℃;
6、工作电压:AC220V±5%,50Hz,整机功率3.5KW;
7、工作环境要求:温度低于30℃,湿度≤70%;冷却水温度22℃±3℃,水循环用户自备。
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