产品简介: 仪器配有两种光源电极台,一种波长为1.07μm,适合于测量硅单晶块或棒的体寿命;另一种波长为0.904~0.905μm,适合于测量切割或研磨太阳能硅片的相对寿命,与微波反射法测量条件相近,因此测量值也较接近。 该仪器扩大了晶体少子寿命可测范围,配有波长为1.07μm的红外发光管外及0.904~0.905μm的红外激光器,使晶体(研磨面)可测电阻率为0.3Ω·cm,寿命可测为0.25μs。 高频少子寿命测试仪(测单晶用)是按照半导体设备和材料MF1535-0707及GB/T 26068的要求,采用高频光电导衰减测量方法,适用于硅、锗单晶的少数载流子寿命测量。 测量太阳电池级硅片、高阻单晶的测试要求,还可测量硅块亦可测量硅片(硅片可放在托架上测量)。 仪器配备的数字存储示波器内置软件可直接读取寿命值。 规格参数: 测量型号:N型或P型单晶或铸造多晶 测量范围:0.25μS-10ms 电阻率下限:≥0.3Ω·cm 光脉冲发生装置 重复频率:>15次/S 脉宽范围:≥10μs 红外光源波长:1.06-1.08μm 脉冲电流:5A-16A 红外光源短波长:0.904-0.905μm 脉冲电流:5A-16A 高频源 频率范围:30MHz 输出功率:>1W 放大器、检波器 频率响应:2Hz-2MHz 放大倍数:约30倍 光源电极台:测量低阻样片用;可测纵向放置的单晶、测量竖放单晶横截面的寿命。 读数方式:可选配测试软件或数字示波器读数 测试软件:具有自动保存数据及测试点衰减波形,可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。
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