产品介绍: 高频光电导少数载流子寿命测试仪是按照半导体设备和材料(F28-75)及GB/T1553的要求,采用高频光电导衰减测量方法,适用于硅、锗单晶的少数载流子寿命测量,硅单晶寿命测量ρ≥2Ω·cm。 规格参数 测试范围:5-10000μs; 电阻率范围:ρ≥2Ω·cm 参杂硅单晶片(厚度小于1mm),电阻率范围:ρ>0.1Ω·cm 重复性误差:≤±20% 光脉冲发生装置 重复频率:>20~30次/s 光脉冲关断时间:0.2-1μs,余辉<1μs 红外光源波长:1.06-1.09μm(测量硅单晶),红外光在硅单晶内穿透深大于500μm如测量锗单晶寿命需配置适当波长的光源 脉冲电源:5A-20A 高频振荡源 石英谐振器频率:30MHz 输出功率:>1W 放大器、检波器 放大倍数:25倍 频宽范围:2Hz-2MHz 光源电极台:可测纵向放置的单晶、竖放单晶横载面的寿命 可测单晶尺寸: 断面竖测:直径25-150,厚2mm-500mm 纵向卧测:直径5mm-150mm,长50mm-800mm 读数方式:可选配测试软件或数字示波器读数 测试软件:具有自动保存数据及测试点衰减波形,可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。
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